流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)

• 設定點的響應時間不超過1sec

• 控制精度可達實際流量的1%

• I/O(輸入&輸出)可選模擬和數字信號

• 可實現本地/遠程設置/顯示